藍寶石襯底片翹曲度試驗

1、接觸式測試
將藍寶石襯底片置放在基準環(huán)的3個支點上，3支點形成一個基準平面，利用低壓力位移指示器沿規(guī)定路徑測量藍寶石襯底片偏離基準平面的距離，記錄成對位移指示器的讀數(shù)并求其差值，針對一系列成對數(shù)值的差值取其最大值與最小值的差值除以2，該得值即表示襯底片的翹曲度。
2、非接觸式測試
將藍寶石襯底片置放在基準環(huán)的3個支點上，3支點形成一個基準平面，利用非接觸式位移傳感器沿規(guī)定路徑測量藍寶石襯底片偏離基準平面的距離，記錄成對位移指示器的讀數(shù)并求其差值，針對一系列成對數(shù)值的差值，取其最大值與最小值的差值除以2，該得值即表示襯底片的翹曲度。
3、白光干涉式測試
激光照射藍寶石襯底片表面，光經(jīng)過反射相互疊加干涉，干涉圖經(jīng)光學成像系統(tǒng)記錄，開始高低形貌測量；物鏡在Z軸方向上不斷微小的移動，在每個移動位置上，光學成像系統(tǒng)進行拍照收集圖片，形成整個三維形貌數(shù)據(jù)。經(jīng)信號處理系統(tǒng)后得到襯底片的翹曲度。

LED用襯底材料一般有藍寶石襯底、碳化硅襯底及硅襯底三種，其中藍寶石襯底應用最廣泛，因為其加工方法以及加工成本等與其他兩種相比較都有不小的優(yōu)勢。
雖說在晶格匹配上面是氮化家襯底砷化該襯底最為匹配，但其生產(chǎn)加工方法要比碳化硅及硅等都更難上加難。 藍寶石襯底片翹曲度試驗可測定藍寶石切割片、研磨片、拋光片的翹曲度。
健明迪檢測可靠性實驗中心具備各種藍寶石襯底片的力學試驗能力，為藍寶石襯底片提供專業(yè)的翹曲度力學試驗服務。

健明迪檢測可靠性實驗中心具備各種藍寶石襯底片的力學試驗能力，為藍寶石襯底片提供專業(yè)的翹曲度力學試驗服務。

GB/T 31352-2014 藍寶石襯底片翹曲度測試方法
GB/T 2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序 第1部分：按接收質量限（AQL）檢索的逐批檢驗抽樣計劃
GB/T 6620硅片翹曲度非接觸式測試方法
GB/T14264 半導體材料術語

適用于直徑50.8 mm~304.8 mm，厚度為不小于200 μm的藍寶石襯底片。